Slanglösningar för halvledarindustrin

APT Advanced Polymer Tubing, som ingår i Masterflex Group, har utökat sitt strategiska samarbete med Chemours. Chemours är tillverkaren av varumärket Teflon™. För kunder inom halvledarindustrin kombinerar samarbetet Chemours materialbas med APT:s kompetens inom bearbetning och tillämpning av fluorpolymerer – särskilt när det gäller kundspecifika slanglösningar av högrenhets-PFA. Det konkreta materialvalet och lämpligheten utvärderas alltid utifrån respektive processkrav, specifikationer och godkännanden.

Masterflex Group säkerställer kvaliteten på slanglösningar genom kvalificerade testprocesser och modern testteknik. Produkter och konfektioner kontrolleras regelbundet inom fastställda ramar för att säkerställa att relevanta krav på material, mått, bearbetning och projektspecifika kvalitetsegenskaper uppfylls. För OEM-, Tier 1- och High-Purity-projekt samordnas testkrav, dokumentation och godkännandekriterier i ett tidigt skede.

För tillämpningar inom halvledarindustrin kan fluorpolymer-slangar som PFA, PTFE eller FEP vara lämpliga. Den lämpliga slanglösningen väljs utifrån processmediet, renhetskraven, temperaturen, trycket, den mekaniska belastningen, monteringsförhållandena och anslutningstekniken.

En PFA-slang för halvledarindustrin kan vara ett lämpligt val när processkemikalier eller ultrarena medier ska transporteras och det ställs höga krav på materialbeständighet, renhet och processäkerhet. Huruvida PFA är lämpligt för en specifik tillämpning prövas alltid utifrån de faktiska processparametrarna och kundens specifikationer.

PFA- och PTFE-slangar kan – beroende på tekniskt godkännande – utgöra komponenter i våtprocess- och kemikalietillförselsystem. Typiska anslutningspunkter är kopplingar mellan kemikalietillförsel, pumpar, filter, ventiler och processmoduler. För dimensioneringen är framför allt kemikalie, koncentration, temperatur, tryck och renhetskrav avgörande.

För att kunna utforma en robust konstruktion behöver vi helst uppgifter om processmediet och dess koncentration, temperatur, driftstryck, dimensioner, böjningsradie, användningsplats, renhetskrav samt önskad anslutnings- eller monteringslösning. För serieprojekt är dessutom årlig volym, kvalitetskrav, dokumentationsbehov och ändringshantering viktiga.

Kundspecifika slangkonstruktioner kan anpassas efter monteringsförhållandena, slanggeometrin och anslutningstekniken i ett OEM- eller Tier 1-projekt. Innan serietillverkningen godkänns bör tekniska krav, gränssnitt, provningskriterier och nödvändig dokumentation definieras gemensamt.

I halvledaranläggningar används slanglösningar beroende på processen för tryckluft, vakuum, temperaturregleringsmedier, vätskor, processkemikalier eller slurries. Exempel på detta är luft- och vätskeledningar i litografianläggningar, kemikalieledningar i våtprocessanläggningar samt medieledningar i förpacknings- och testsystem. Materialvalet måste valideras utifrån respektive process och medium.

Inköpare bör, förutom material och mått, särskilt beakta specifikationer, medium, processförhållanden, önskad utformning, kvalitetskrav, dokumentationsomfattning, godkännandeprocess och planerade volymer. En tidig teknisk samordning bidrar till att tydligt definiera leveransomfattning, gränssnitt och krav för serietillverkning.

Den renhet och renhetsgrad som kan uppnås för en slanglösning beror på materialet, tillverkningsprocessen, konfektioneringen, förpackningen samt de fastställda kraven på provning och dokumentation. För högrenhetsapplikationer bör de kundspecifika kraven avstämmas i ett tidigt skede. Dit hör till exempel specifikationer avseende partiklar, avgasning, rengöring eller förpackning, i den mån dessa är relevanta för det aktuella projektet.

Omfattningen av den dokumentation som krävs avtalas utifrån det enskilda projektet. Beroende på tillämpning kan detta omfatta tekniska specifikationer, materialinformation, provningskriterier, överensstämmelsedokument, batch- eller spårbarhetsdata samt godkända ritningar. Vilka dokument som finns tillgängliga och krävs bör definieras tydligt innan serietillverkningen godkänns.

Hur slangen kan utformas beror på slangmaterialet, dimensionerna, användningsförhållandena och anslutningspunkten i systemet. Relevanta faktorer är anslutningstyp, tätningskoncept, monteringsutrymme, monteringsförhållanden samt kraven på rengöring eller utbytbarhet. Den konkreta utformningen bör därför fastställas i samarbete med konstruktions- och kvalitetsavdelningarna.

Spårbarhet (COA:er) genomförs via en process som definieras specifikt för varje projekt. Möjliga komponenter är märkning, tilldelning till partier, dokumentation, kontrollstatus eller definierade identifieringskännetecken. Den nödvändiga omfattningen beror på tillämpningen, kvalitetssäkringsprocesserna och kundens krav.